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产品介绍

曦合超导提供的探针平台在半导体-MEMS-超导材料探测等领域是重要的高科技科研设备,有着不可替代的重要作用。

通过微米级别的探针头和光学显微镜,可实现在材料介观水平提供低温物理电学测试、微波探测及可视化成像等功能。

在整个温度范围内的IV和CV曲线测试、微波测试、光电测试、表征变磁环境下的磁输运特性、理解载流子浓度的霍尔效应测试,和其他材料的研究。

该设备提供了一个可以引入电学、光学及微波信号的低温、真空、带磁场的环境,由探针臂引入信号、由闭循环制冷机实现低温制冷、由真空杜瓦提供真空环境、由超导磁体提供高强度磁场。


关键核心技术
  • 超导磁体技术:闭循环垂直磁场超导磁体探针台实现达到6T的磁场,通过自主搭建的电磁-机械-传热多物理场耦合下的优化设计算法,实现了低损耗-高稳定性的紧凑结构超导磁体系统设计与制备。
  • 快降温高传导的制冷技术:采用双级G-M制冷机冷却的低温系统,对结构材料进行热物性测试,并应用于系统中的热传导结构和热沉结构;使用热开关技术实现4 K温区的快速降温。
  • 热开关技术:采用低温热开关技术实现了样品台温度的快速调控。
技术参数
 磁场温度
磁场类型超导磁体基础温度10K
磁场方向垂直控制范围10K到500K
磁场控制电流控制安装6个探针臂 真空
磁场大±3T,最大可达到±6T抽真空时小于30分钟
磁场均匀性

0.5% 10mm直径

0.7% 25mm直径

冷源液氦


产品详情


  • 低温探针平台.png


    图 低温探针平台产品效果图

应用领域

半导体晶圆、凝聚态物理、光电测试、超导材料、纳米电子学、磁性&自旋电子学、有机&分子电子学、量子器件、微波电子学、低噪音射频、铁电体薄膜、低温电子学。


联系热线15618506903

求职热线13855137709 电话:15618506903
邮箱:hfxh@xhsuper.com
传真:15618506903
地址:安徽省合肥市庐阳区清河路868号大数据产业园18号楼2层

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