科学仪器是一个国家战略的核心科技力量，工欲善其事，必先利其器。众所周知，科技是第一生产力，而当技术经过长年累月的积累和实践，拥有具备引领时代的力量时，这样的技术就被称为全球最顶尖的技术。而精密仪器，恰恰又是开展前沿科学研究、推动技术发展必不可少的科研工具。

探针平台在半导体-MEMS-超导材料探测等领域是重要的高科技科研设备，有着不可替代的重要作用。

通过微米级别的探针头和光学显微镜，可实现在材料介观水平提供低温物理电学测试、微波探测及可视化成像。

在整个温度范围内的IV和CV曲线测试、微波测试、光电测试、表征变磁环境下的磁输运特性、理解载流子浓度的霍尔效应测试，和其他材料的研究。

该设备提供了一个可以引入电学、光学及微波信号的低温、真空、带磁场的环境，由探针臂引入信号、由闭循环制冷机实现低温制冷、由真空杜瓦提供真空环境、由超导磁体提供高强度磁场。

探针平台的组成

探针平台如何工作

探针台可以固定晶圆、芯片、材料并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针尖端放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针尖端都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。

探针平台的作用什么

探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上，从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。

探针平台用了哪些核心技术

01超导磁体技术

闭循环垂直磁场超导磁体探针台实现达到6T的磁场，通过自主搭建的电磁-机械-传热多物理场耦合下的优化设计算法，实现了低损耗-高稳定性的紧凑结构超导磁体系统设计与制备。

02快降温高传导的制冷技术

采用双级G-M制冷机冷却的低温系统，对结构材料进行热物性测试，并应用于系统中的热传导结构和热沉结构；使用热开关技术实现4 K温区的快速降温.

03热开关技术

采用低温热开关技术实现了样品台温度的快速调控。

探针平台可以应用于哪些科研领域

半导体晶圆、凝聚态物理、光电测试、超导材料、纳米电子学、磁性&自旋电子学、有机&分子电子学、量子器件、微波电子学、低噪音射频、铁电体薄膜、低温电子学。